M03 Scanning Electron Microscope (SEM)
หลักการ
Scanning Electron Microscope (SEM) ยี่ห้อ LEO รุ่น 1450VP
หลักการ
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด เป็นกล้องจุลทรรศน์ที่ใช้ electron เป็นแหล่งกำเนิดแสง เป็นเครื่องมือที่ใช้ศึกษาลักษณะสัณฐานของตัวอย่างวัสดุ หรือตัวอย่างทางชีวภาพในระดับจุลภาค ที่แสดงออกมาเป็นภาพ 3 มิติ ที่มีรายละเอียดที่เล็กมาก สามารถแจกแจงรายละเอียดของภาพ ได้ตั้งแต่ประมาณ 50 ถึง 100 นาโนเมตร อีกทั้งยังสามารถใช้งานร่วมกับเทคนิคการวิเคราะห์อื่น เช่น Energy Dispersive Spectrometry (EDS) ซึ่งสามารถวิเคราะห์องค์ประกอบของธาตุในตัวอย่างที่ใช้ในการวิเคราะห์ได้ จึงทำให้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเป็นที่นิยมใช้กันอย่างกว้างขวางในปัจจุบัน
หลักการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด จะประกอบด้วยส่วนบนภายในคอลัมน์ (column) ของตัวกล้องจะมีแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอน (electron gun) ซึ่งทำหน้าที่ปลดปล่อยอิเล็กตรอนออกมา (primary electron) ซึ่งจะควบคุมความเข้มของอิเล็กตรอนนั้นด้วยศักย์ไฟฟ้าสูง (high voltage) และใช้เลนส์แม่เหล็กไฟฟ้า (electromagnetic lens) โฟกัสให้อิเล็กตรอนนั้นตกกระทบชิ้นงาน และเมื่ออิเล็กตรอนตกกระทบชิ้นงานจะเกิดอันตรกริยา (interaction) ได้สัญญาณแบบต่าง ๆ เช่น สัญญาณจากอิเล็กตรอนในชิ้นงานที่หลุดออกมา (secondary electron) อิเล็กตรอนที่กระดอนกลับ (bacscattered electron) และสัญญาณ x-ray เฉพาะธาตุ สัญญาณแต่ละชนิดจะถูกจับโดย detector เฉพาะ แปลผลเป็นสัญญาณทางไฟฟ้า และแปลเป็นภาพหรือกราฟ
สถานที่ตั้ง
อาคาร SC.07 ห้อง 7101/1
เจ้าหน้าที่ผู้ดูแล/ติดต่อขอใช้บริการ
อัตราค่าบริการ
ชื่อรายการ | อัตรา 1 | อัตรา 2 | อัตรา 3 | หน่วย |
---|---|---|---|---|
ถ่ายภาพด้วย SEM | 400 | 800 | 1,200 | *ชั่วโมง |
การวิเคราะห์ธาตุโดย EDX | 400 | 800 | 1,200 | *ชั่วโมง |
การฉาบผิวด้วยทองคำ (Coat ทอง) | 200 | 400 | 600 | *ครั้ง |
การทำตัวอย่างแห้งที่จุดวิกฤติ (CPD) | 200 | 400 | 600 | *ครั้ง |
ค่า Stub | 30 | 40 | 50 | *อัน |
ปฏิทินการใช้งาน