M03 Scanning Electron Microscope (SEM)

หลักการ

Scanning Electron Microscope (SEM) ยี่ห้อ LEO รุ่น 1450VP

หลักการ
              กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด เป็นกล้องจุลทรรศน์ที่ใช้ electron เป็นแหล่งกำเนิดแสง เป็นเครื่องมือที่ใช้ศึกษาลักษณะสัณฐานของตัวอย่างวัสดุ หรือตัวอย่างทางชีวภาพในระดับจุลภาค ที่แสดงออกมาเป็นภาพ 3 มิติ ที่มีรายละเอียดที่เล็กมาก สามารถแจกแจงรายละเอียดของภาพ ได้ตั้งแต่ประมาณ 50 ถึง 100 นาโนเมตร อีกทั้งยังสามารถใช้งานร่วมกับเทคนิคการวิเคราะห์อื่น เช่น Energy Dispersive Spectrometry (EDS) ซึ่งสามารถวิเคราะห์องค์ประกอบของธาตุในตัวอย่างที่ใช้ในการวิเคราะห์ได้ จึงทำให้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเป็นที่นิยมใช้กันอย่างกว้างขวางในปัจจุบัน

หลักการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด

            กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด จะประกอบด้วยส่วนบนภายในคอลัมน์ (column) ของตัวกล้องจะมีแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอน (electron gun) ซึ่งทำหน้าที่ปลดปล่อยอิเล็กตรอนออกมา (primary electron) ซึ่งจะควบคุมความเข้มของอิเล็กตรอนนั้นด้วยศักย์ไฟฟ้าสูง  (high voltage) และใช้เลนส์แม่เหล็กไฟฟ้า (electromagnetic lens) โฟกัสให้อิเล็กตรอนนั้นตกกระทบชิ้นงาน และเมื่ออิเล็กตรอนตกกระทบชิ้นงานจะเกิดอันตรกริยา (interaction) ได้สัญญาณแบบต่าง ๆ เช่น สัญญาณจากอิเล็กตรอนในชิ้นงานที่หลุดออกมา (secondary electron) อิเล็กตรอนที่กระดอนกลับ (bacscattered electron) และสัญญาณ x-ray เฉพาะธาตุ สัญญาณแต่ละชนิดจะถูกจับโดย detector เฉพาะ แปลผลเป็นสัญญาณทางไฟฟ้า และแปลเป็นภาพหรือกราฟ

 

สถานที่ตั้ง

อาคาร SC.07 ห้อง 7101/1

เจ้าหน้าที่ผู้ดูแล/ติดต่อขอใช้บริการ

  • บุญส่ง กองสุข โทรศัพท์ : 086-5797827 อีเมล : bookon@kku.ac.th
  • อัตราค่าบริการ

    ชื่อรายการ อัตรา 1 อัตรา 2 อัตรา 3 หน่วย
    ถ่ายภาพด้วย SEM 400 800 1,200 *ชั่วโมง
    การวิเคราะห์ธาตุโดย EDX 400 800 1,200 *ชั่วโมง
    การฉาบผิวด้วยทองคำ (Coat ทอง) 200 400 600 *ครั้ง
    การทำตัวอย่างแห้งที่จุดวิกฤติ (CPD) 200 400 600 *ครั้ง
    ค่า Stub 30 40 50 *อัน

    ปฏิทินการใช้งาน